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下列几种氧化方法相比哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些
来源: 集成电路制造工艺员
发布时间:2017-02-19
题目干氧氧化法具备以下一系列的优点请注意与下面集成电路制造工艺员题目有着相似或相关知识点, 干氧氧化法有一些优点但同时它的缺点有; 二氧化硅薄膜的折射率是表征其学性质的重要参数。
下列几种氧化方法相比哪种方法制得的二氧化硅薄膜的电阻率会高些
学习时建议同时掌以下几题,二氧化硅薄膜厚度的测量方法有。
为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求金属材料应该满足。
采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是的。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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