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叙述MEMS微型机电系统的基本特征目前有哪些微型机械加工技术
来源: 仪器制造技术
发布时间:2017-02-18
题目微细加工工艺方法主要有光刻加工体刻蚀加工技术面刻蚀加工技术LIGA技术和请注意与下面仪器制造技术题目有着相似或相关知识点, 分析精密超精密加工技术的技术领域; 什么是光刻加工技术试简述光刻加工的原理和工艺流程。
叙述MEMS微型机电系统的基本特征目前有哪些微型机械加工技术
学习时建议同时掌以下几题,分析高速超高速加工技术的产生背景及应用领域。
综述精密超精密加工技术的现状和发展趋势。
微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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