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离子注入后为什么要退火
来源: 材料物理性能
发布时间:2017-02-18
题目离子注入后为什么要进行退火请注意与下面材料物理性能题目有着相似或相关知识点, 离子注入前一般需要先生长氧化层其目的是什么; 例举离子注入设备的5个主要子系统。
离子注入后为什么要退火
学习时建议同时掌以下几题,例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
STI隔离技术中为什么采用干法离子刻蚀形成槽。
为什么要采用LDD工艺它是如何减小沟道漏电流的。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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