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常见的曝光光源
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目光刻工艺的主要流程有哪几步什么是光刻工艺的分辨率从物理角度看限制分辨率的因素是什么最常用的曝光光源是请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 常见的光刻对准曝光设备有; 阈值曝光量。
常见的曝光光源
学习时建议同时掌以下几题,临界曝光量。
什么是整版接触式曝光。
什么是非接触曝光方式。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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