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离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度因而在几乎所有应用中都优于扩散
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 杂质在硅晶体中的扩散机制主要有两种分别是扩散和扩散杂质只有在成为硅晶格结构的一部分即才有助于形成半导; 硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤和。
离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度因而在几乎所有应用中都优于扩散
学习时建议同时掌以下几题,热扩散利用驱动杂质穿过硅的晶体结构这种方法受到和的影响。
在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤预淀积推进和激活。
在晶片制造中有两种方法可以向硅片中引入杂质元素即热扩散和离子注入。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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