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扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目离子注入是唯一能够精确控制掺杂的手段请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 与扩散源相比离子注入有哪些优点; 离子注入后退火的作用是什么。
扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是
学习时建议同时掌以下几题,离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。
离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么。
掺杂的目的是什么掺杂在何时进行惨杂方法有哪几种。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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