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是通过把被蒸物体加热利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的
来源: 集成电路制造工艺员
发布时间:2017-02-19
题目是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术请注意与下面集成电路制造工艺员题目有着相似或相关知识点, 是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术; 方法是大规模集成电路生产中用来沉积不同金属的应用最为广泛的技术。
是通过把被蒸物体加热利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压来进行薄膜沉积的
学习时建议同时掌以下几题,主要是以化学反应方式来进行薄膜沉积的。
用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫。
下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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