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比较投影掩模版和光学掩模版有何异同说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目什么是掩模掩模与集成电路制造有什么关系制做掩模的数据从哪儿来请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 版图与掩模有什么关系; 画版图时所给出的工艺层与芯片制造时所需要的掩模层有什么关系。
比较投影掩模版和光学掩模版有何异同说明采用什么技术形成投影掩模版上的图形
学习时建议同时掌以下几题,一套掩模一般只能生产多少个晶圆。
投影掩膜版上的图形是由金属钽所形成的。
在氧化层上形成所需要的图形的步骤是什么。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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