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图形的加工是通过什么工艺完成的
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目随着铜布线中大马士革工艺的引入金属化工艺变成刻蚀以形成一个凹槽然后淀积来覆盖其上的图形再利用把铜平坦请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, MOS工艺包括有哪几种MOS工艺的重要参数是什么什么是特征尺寸; 为什么NMOS工艺优于PMOS工艺。
图形的加工是通过什么工艺完成的
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