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传统互连金属线的材料是铝即将取代它的金属材料是铜
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目在半导体制造业中最早的互连金属是在硅片制造业中最普通的互连金属是即将取代它的金属材料是请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, IC对金属材料特性有何要求; 为什么在敏感模拟信号线周围插入了接地的同层金属线就可防止电磁干扰。
传统互连金属线的材料是铝即将取代它的金属材料是铜
学习时建议同时掌以下几题,阻挡层金属是淀积金属或金属塞其作用是增加上下层材料的附着。
为什么新的工艺中要用铜布线取代铝布线。
对芯片互连的金属和金属合金来说它所必备一些要求是高黏附性可靠性抗腐蚀性应力等。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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