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离子注入主要部件有哪些
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 离子注入法有哪些优点; 与扩散源相比离子注入有哪些优点。
离子注入主要部件有哪些
学习时建议同时掌以下几题,离子注入工艺需要控制的工艺参数及设备参数有哪些。
简述离子注入工艺中退火的主要作用。
离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片会导致光刻材料的阴影效应阻碍离子束的注入。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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