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抛光片的电学参数包括电阻率载流子浓度迁移率直径厚度主参考面等

来源: 半导体芯片制造工 发布时间:2017-02-19

题目抛光片的质量检测项目包括几何参数直径主参考面副参考面平整度弯曲度等电阻率载流子浓度迁移率等晶体质量晶请注意与下面半导体芯片制造工题目有着相似或相关知识点, 迁移率是反映半导体中载流子导电能力的重要参数掺杂半导体的电导率一方面取决于掺杂的浓度另一方面取决于迁; 外延层的迁移率低的因素有原材料纯度反应室漏气外延层的晶体系统沾污等载气纯度不够外延层晶体缺陷多生长工。

抛光片的电学参数包括电阻率载流子浓度迁移率直径厚度主参考面等

学习时建议同时掌以下几题,气中的一个小尘埃将影响整个芯片的性率并影响其电学性能和性所以半导体芯片制造工艺需在超净厂房内进行。

在半导体中掺金是为了使非平衡载流子的寿命增加。

双极晶体管中只有一种载流子电子或空穴传输电流。

相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。

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