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热氧化工艺有哪些
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目热氧化工艺的基本设备有三种和请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 影响热氧化层电性的电荷来源有哪些类型降低这些电荷浓度的措施; 为何热氧化时要控制钠离子含量降低钠离子污染的措施有哪些。
热氧化工艺有哪些
学习时建议同时掌以下几题,热氧化常见的缺陷有。
SiO2按结构特点分为哪些类型热氧化生长的SiO2属于哪一类。
根据氧化剂的不同热氧化可分为和。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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