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硅栅工艺有哪些优点
来源: 集成电路技术
发布时间:2017-02-18
题目解释为什么目前CMOS工艺中常采用多晶硅栅工艺而不采用铝栅工艺请注意与下面集成电路技术题目有着相似或相关知识点, 简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤; 多晶硅栅的宽度通常是整个硅片上最关键的CD线宽。
硅栅工艺有哪些优点
学习时建议同时掌以下几题,制作硅栅具体步骤是什么。
侧墙用来环绕多晶硅栅防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。
以N阱CMOS工艺为基础的BiCMOS工艺有哪些优缺点。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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