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简述RTP设备的工作原理相对于传统高温炉管它有什么优势
来源: 半导体芯片制造工
发布时间:2017-02-19
题目浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同请注意与下面半导体芯片制造工题目有着相似或相关知识点, 简述RTP在集成电路制造中的常见应用; 简述几种典型真空泵的工作原理。
简述RTP设备的工作原理相对于传统高温炉管它有什么优势
学习时建议同时掌以下几题,对RTP来说很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移分析滑移产生的原因如果。
常用溅射技术有哪几种简述它们的工作原理和特点。
对于大尺寸的MOS管版图设计适合采用什么样的版图结构简述原因。
相同的知识点,可以不同方式出题,建议一起学习掌握。
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